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中国芯中国造 我国集成电路设备国产化获重大进展

来源:北京日报 浏览次数: 日期:2016-12-28 14:47

中芯国际北京厂使用国产设备加工的12寸正式产品晶圆加工突破一千万片次,标志着集成电路国产设备在市场化大生产中得到充分验证,国产设备技术和竞争力迈上了一个新台阶。

2008年,国家科技重大专项02专项成立,组织“产学研”联合开发,由行业的龙头企业中芯国际等牵头,向世界上最先进的40纳米和28纳米芯片技术节点攻关,并推动装备国产化。02专项让中芯国际、北方微电子、七星华创(北方微电子、七星华创后重组为“北方华创”)、中科信公司等产业链的上下游企业站在了一起。

开发区集成电路产业的集聚,成为了高端制造装备国产化的天然推动力。就拿坐落在中芯国际北京厂街对面的“邻居”北方华创来说,其成功开发了以刻蚀设备、化学气相沉积设备、物理气相沉积设备三大类半导体装备产品为基础的20余类产品,成功替代了国外厂商同类产品。“设备一有什么问题,设备商的工程师就能过来,双方的合作沟通完全零时差。”中芯国际工程师说。

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